בקו באורך 300 ממ, שינוי של חצי מעלה בזמן החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים, ולכן לבזבוז כמויות גדולות של חומר. זו הסיבה שיצרנו את המחמם הזה המתאים לשימוש בתנאי ואקום – שם המגבלות התרמיות הן קפדניות מאוד, ומספר החלקיקים בחדר הנקי נמדד במולקולות.
מה חשוב מבחינה טכנית
אנו משתמשים בגלאי אינפרא-אדום בגלים קצרים, המותקנים במערכת קוורץ, כך שהחום מועבר ישירות אל הפוטורזיסט ואל החומר שעליו הוא מונח. זמן התגובה הוא פחות משנייה, ואין צורך במגע פיזי. בכל אזור העיבוד, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות בין סדרות שונות של חומרים נשמרת בטווח של ≤0.2°C.
המחמם ניתן להרכבה בתוך תאי ואקום ובציודי ייצור, באמצעות חיבורים סטנדרטיים, כאשר יש גם הגנה מפני גלי RF/DC. המחמם שומר על ניקיון בסביבות מסוג Class 1–100, ולא יוצר שום חלקיקים. הטמפרטורה נשלטת באמצעות מערכת מדידה מדויקת, והפרופיל התרמי ניתן לאימות באמצעות סטנדרטים של NIST.
למה המחמם מתאים לשימוש בליתוגרפיה
בליתוגרפיה, יש צורך בחימום יציב כדי לשלוט בהסרת הממסים, במתחים בשכבות החומר, ובשינויים ברוחב הקווים. המחמם הזה מאפשר שליטה מדויקת בקירוב החימום, מה שמפחית את השינויים ברוחב הקווים ומשפר את שיעור ההצלחה של התהליך. התגובה התרמית המהירה גם מקצרת את זמן העיבוד.
התאמת המחמם לשימוש בתנאי ואקום מונעת את הסיכון של זיהום כתוצאה מדליפות. גם צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהחום מועבר רק כשיש צורך בכך, ולא נשאר בצורה של חום עודף. ראינו שהמחממים האלה יכולים לעבוד למעלה מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5% באיכות התוצאה, מה שמאפשר פעולה 24/7 עם צורך מופחת בתחזוקה.
מה צריך לדעת מראש
ההתקנה דורשת תיאום מדויק של כיוון החימום לגבי הוואפר, וכן יש לוודא שהאמיטביות של המחמם מתאימה לחומרים שמשמשים בתהליך. חומרים כמו חומרי נשיאה מזכוכית, BARC וציפויים אנטי-רפלקטיביים משפיעים על החיבור התרמי.
זה אינו מוצר שניתן להתקין בקלות בכל מערכת. יש צורך בממשק שליטה מיוחד ובהתאמה מכנית מדויקת. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי לוודא שהפרופיל התרמי מתאים לדרישות התהליך, ולאחר מכן להתקין את המחמם באופן סופי.