MEMS वेफरों को बिना किसी परेशानी के सूखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सूखाना एक चुनौतीपूर्ण कार्य है। वेफरों में मौजूद पानी को जल्दी से हटाना आवश्यक है… लेकिन अगर आप इसके लिए अत्यधिक ऊष्मा का उपयोग करें, तो वेफर विकृत हो सकता है, या पूरे बैच में दूषण भी हो सकता है।
इसका समाधान यह है कि ऊष्मा को सही जगह पर ही भेजा जाए। अधिकांश मशीनें धातु ढाँचे को गर्म करने में बहुत ऊर्जा बर्बाद करती हैं। हम इस समस्या को दूर करने हेतु विशेष इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं… एवं इन हीटरों को सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों के साथ जोड़ते हैं।
सोना क्यों?
अल्यूमिनियम तो मानक सामग्री है… लेकिन यह इन्फ्रारेड ऊर्जा को अधिक मात्रा में अवशोषित कर लेता है। सोना अलग है… निकट-इन्फ्रारेड स्पेक्ट्रम में, यह 98% ऊर्जा को परावर्तित कर देता है।
इस प्रकार, गर्मी की ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पहुँचती है… ऐसे में आपको अपने लैंपों की शक्ति बढ़ाने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
चुनौती: ऊष्मा एवं शक्ति
जब आप ऐसे हीटरों का चयन करते हैं, तो आपको वॉटेज एवं सतह क्षेत्रफल का सही मूल्य चुनना होता है।
उच्च-वॉटेज वाले लैंप तो उत्पादन दर को बढ़ाने में मदद करते हैं… लेकिन वे बहुत गर्म हो जाते हैं। यदि आपकी शीतलन प्रणाली इतनी गर्मी को संभाल नहीं पाती, तो समस्याएँ हो सकती हैं… जैसे कि वेफर विकृत हो जाना, या सेंसरों को नुकसान पहुँचना। इसीलिए हम ऊष्मा के केंद्र बिंदु को सही जगह पर ही रखने पर बहुत ध्यान देते हैं।
सरल विकल्प…
ये हीटर, आपके मानक इन्फ्रारेड ऊर्जा स्रोतों के स्थान पर ही उपयोग में आ सकते हैं। हमने एमिटर एवं रिफ्लेक्टर के बीच की दूरी पर विशेष ध्यान दिया है… क्योंकि वहीं “मृत क्षेत्र” होते हैं… ऐसे स्थान जहाँ ऊष्मा जमा हो जाती है, एवं कोई काम नहीं होता।
एक महत्वपूर्ण सलाह: सोना नरम होता है… इसलिए इसकी सतह को कठोर साबुनों से साफ नहीं किया जा सकता। ऐसा करने से सतह पर खरोंचें आ जाएँगी… जिससे दक्षता कम हो जाएगी, एवं बिजली की लागत बढ़ जाएगी। इसलिए केवल अनुमोदित ऑप्टिकल क्लीनरों का ही उपयोग करें।