300 मिमी लाइन पर काम करते समय, यह जल्दी ही समझ में आ जाता है कि सुखाने/बेक करने की प्रक्रिया में 0.1°C से कम का अंतर भी कोई “छोटा अंतर” नहीं है। ऐसा अंतर कणों की संख्या को गलत दिशा में धकेल देता है। स्वचालित वेफर सुखाने वाले हीटर, सिर्फ अतिरिक्त ऊष्मा ही नहीं हैं; बल्कि ये फोटोरेसिस्ट को ठीक से सुखाने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। ये हीटर, यह भी तय करते हैं कि उत्पाद भेजा जाए या नष्ट कर दिया जाए।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ऐसे हीटर बनाए हैं जो क्लीनरूम-अनुकूल थर्मल मॉड्यूलों पर आधारित हैं; ऐसे मॉड्यूल वेफरों पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं, एवं 24 घंटों में तापमान में ±0.2°C से भी कम उतार-चढ़ाव होता है। तापमान को ऐसे ही नियंत्रित किया जाता है कि फोटोरेसिस्ट में कोई समस्या न हो। चैंबर एवं एक्सहॉस्ट पथों को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कोई भी कण बाहर न निकले, ताकि ISO क्लास 1–100 के मानकों का पालन हो सके। विभिन्न बैचों में तापमान में ≤0.3°C का ही उतार-चढ़ाव होता है; ऐसे में प्रक्रिया हमेशा नियंत्रित रहती है।
ऐसा क्यों होता है?
लिथोग्राफी एवं ट्रैक इंटीग्रेशन में, सुसंगत सॉफ्ट बेक प्रक्रिया से फिल्म की चिपचिपाहट एवं तनाव नियंत्रित रहता है; जबकि सुसंगत हार्ड बेक प्रक्रिया से एक्सपोज़र एवं डेवलपमेंट से पहले ही फिल्म का प्रोफाइल नियंत्रित रहता है। ऐसे हीटरों के उपयोग से, एज बीड एवं सॉल्वेंट संबंधी समस्याओं से बचा जा सकता है; साथ ही CD एवं ओवरले को भी स्थिर रखा जा सकता है। ये हीटर स्वचालित रेसिपीओं का समर्थन करते हैं; ऐसे में ऑपरेटरों को कोई अनुमान नहीं लगाना पड़ता। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ये हीटर केवल निर्धारित चक्रों में ही ऊष्मा प्रदान करते हैं, पूरे चैंबर में नहीं।
कुछ व्यावहारिक बातें…
इन हीटरों की स्थापना हेतु ट्रैक गैस, वैक्यूम एवं एक्सहॉस्ट सिस्टमों के साथ अच्छा समन्वय आवश्यक है। हीटर का आकार भी वेफरों के आकार एवं चक की ज्यामिति के अनुरूप होना आवश्यक है। प्रक्रिया की स्थितियों में तापमान को मापने हेतु एक परीक्षण आवश्यक है; केवल निष्क्रिय अवस्था में ही नहीं। जब यह सब ठीक हो जाए, तो हीटर लगातार काम कर सकता है; लेकिन फिर भी नियमित रूप से कैलिब्रेशन एवं फिल्टर चेक आवश्यक हैं, ताकि तापमान एवं कणों संबंधी मानकों का पालन हो सके।