IR 가열 장비를 항상 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100급의 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 먼지 한 알이나 이상한 화학물질의 증기만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다. 반도체 가열 과정에서는 대부분의 사람들이 고순도 석영 IR...

와이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 트롤리 히터의 진실 대량 생산 환경에서는, 운반용 트롤리에 장착된 적외선 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽입니다. 쿼츠 관이 파손되면, 그저 부서지는 것뿐만 아니라, 미세한 유리 조각들과 전극 조각들이...

가연성 화학물질을 가열할 때 안전을 유지하는 방법 솔직히 말해서, 반도체 공장에서 화학물질을 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 휘발성 용매를 다룰 때는 마치 폭발물을 다루는 것과 같습니다. 작은 스파크나 과열된 발열체만 있어도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 그...

서론 우리가 이 금으로 코팅된 적외선 램프를 만든 목적은 단 하나입니다. 바로 반도체의 심층 가공 과정에서 발생하는 느린 가열 속도를 해결하기 위해서입니다. 시간은 곧 비용이므로, 우리는 그 비용을 최대한 줄이고자 했습니다. 기존의 대류식 가열 방식은 자체적인 열에...

서문 상상해 보세요. 여러분이 300mm 웨이퍼를 가공하는 공장을 운영하고 있으며, 엄청난 압박감 속에서 일해야 합니다. 환경도 매우 혹독하며, 히터는 조금이라도 오작동해서는 안 됩니다. 온도를 정확하게 유지해야 하며, 즉시 반응해야 하며, 결코 오차가 발생해서는 안...

팹에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 CD가 움직이거나, 오버레이가 비뚤어지며, 많은 웨이퍼들이 폐기물이 될 수 있습니다. 반도체 히터에 장착된 서모커플은 단순한 부가 장치가 아닙니다. 이는 공정 중 온도가 정해진 범위...

생산 과정에서 포토레지스트의 안정성은 단순히 중요한 요소가 아니라, 필수적인 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생겨도 전체 열 관리 시스템에 영향을 미치며, 에칭 결과에도 즉각적으로 반영됩니다. 저희는 이러한 온도 변동을 줄이...