오존이 없는 적외선 램프

오존이 하드웨어를 손상시키는 것을 막아야 합니다. 반도체 공장에서 작업할 때 가장 싫은 것은 오염입니다. 건조 및 경화 과정은 아무런 흔적도 남기지 않고 원활하게 이루어져야 합니다. 그래야 웨이퍼에 아무런 손상도 주지 않고 청정실의 환경도 유지될 수 있습니다. 이때...