시간 낭비를 그만하세요: 왜 청정실에서는 적외선 가열이 우수한지 반도체의 고도화된 처리를 수행한다면, “시간이라는 비용”이 얼마나 큰지 잘 알고 있을 것입니다. 오랫동안 우리는 강제 대류 방식에 의존해 왔지만, 솔직히 말해 이 방식은 효율적이지 않습니다. 먼저 공기를...

팹 플로어에서의 포토레지스트 베이킹은 준비 작업이 아니다. 그것은 공정의 힌지이다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크가 1.5°C 이상 변동하면 CD 제어에서 그 영향을 볼 수 있다. 엣지 비드가 나타나기 시작하고 웨이퍼가 폐기된다. 진공 오븐의 가열 요소는 진공 상태...