고품질 웨이퍼 가열 램프

석영 케이스 안에 장착된 단파 적외선 할로겐 램프를 사용함으로써, 빠른 가열이 가능하며 안정된 상태를 유지할 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 조명되는 영역 내에서 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지되므로, 포토레지스트의 온도도 사전 설정된 값대로 유지됩니다. 이 시...