반도체 소자 특성 분석용 가열기

생산 과정에서 포토레지스트의 안정성은 단순히 중요한 요소가 아니라, 필수적인 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생겨도 전체 열 관리 시스템에 영향을 미치며, 에칭 결과에도 즉각적으로 반영됩니다. 저희는 이러한 온도 변동을 줄이...