반도체 히터용 열전대

팹에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 CD가 움직이거나, 오버레이가 비뚤어지며, 많은 웨이퍼들이 폐기물이 될 수 있습니다. 반도체 히터에 장착된 서모커플은 단순한 부가 장치가 아닙니다. 이는 공정 중 온도가 정해진 범위...