진공 챔버용 적외선 히터

열공기를 사용하지 마세요: 왜 진공 적외선이 최선의 선택인가? 만약 여전히 반도체 처리에 열공기를 사용하고 있다면, 그 느린 속도를 이미 경험했을 것입니다. 정말 답답한 일입니다. 웨이퍼가 따뜻해지기까지는 챔버 내의 모든 공기 분자들이 먼저 가열되어야 합니다. 이는...