웨이퍼를 가열할 때 열이 챔버 벽에 낭비되는 것을 막으세요 웨이퍼를 가열할 때는 그 에너지가 직접 웨이퍼에 전달되어야 합니다. 열이 여기저기 흩어져 챔버 벽에 흡수되는 것은 바람직하지 않습니다. 문제는 일반적인 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출한다는 점입니다....

왜 골드 반사체가 웨이퍼 경화 과정에서 그토록 중요한지 웨이퍼를 경화할 때는 단순히 온도를 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 사실상, 광자들과 ‘핀볼 게임’을 하는 셈입니다. 대부분의 사람들은 저렴하기 때문에 알루미늄 반사체를 사용합니다. 하지만 문제는 알루미늄이...

MEMS 웨이퍼를 골치 아픈 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼가 변형되거나 전체 제품에 오염이 생길 수 있습니다. 핵심은 열이 정확히 필요한 곳에...

왜 웨이퍼 제조 공정에서 적외선 경화 방식으로 전환하는가? 솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐들은 형편없습니다. 속도가 느리고, 유해한 화학물질을 사용해야 하며, 결국은 공기를 가열하는 것에 불과합니다. 우리는 그런 방식을 버리고 적외선 경화 방식을 사용하고 있습니다...

왜 무연 반도체 제조 과정에서 적외선을 사용하는가? 웨이퍼 가공 장비 설계와 관련해 “친환경적인 방법”이나 “무연화”에 대해 이야기할 때, 사람들은 보통 화학물질에만 집중합니다. 하지만 실제로는 열을 어떻게 조절하느냐가 더 중요합니다. 그래서 우리는 적외선을 활용합니...

폭발 없이 웨이퍼를 가열하는 방법 화학적 세정 과정에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 정확한 온도 조절이 필요하지만, 동시에 인화성 용매들과 가까이에서 작업해야 하기 때문입니다. 조심하지 않으면 큰 문제가 생길 수 있습니다. 안전을 위해, 우리는 그...

고성능 적외선 할로겐 램프: 웨이퍼 가공 공정에 필요한 최적의 솔루션 만약 웨이퍼 가공 공정을 운영하면서 비싼 고급 장비와 성능이 부족한 저가형 장비 사이에서 고민하고 있다면, 저희도 같은 상황을 겪었습니다. 저희가 만든 산업용 적외선 할로겐 램프는 신뢰할 수 있으며...

300mm 공정에서는, 건조/베이킹 단계에서 0.1°C 미만의 온도 변동도 결코 ‘작은 변동’이 아니라는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 미세한 온도 변동도 나노미터 단위로 치명적인 영향을 미치며, 입자 수에도 부정적인 영향을 줍니다. 자동화된 웨이퍼 건조 히터는 단...

On the fab floor, the rinse step is a controlled risk. Leftover water means micro-contamination, and a weak dry cycle can force photoresist rework—or...