왜 골드 반사체가 웨이퍼 경화 과정에서 그토록 중요한지
웨이퍼를 경화할 때는 단순히 온도를 높이는 것만으로는 충분하지 않습니다. 사실상, 광자들과 ‘핀볼 게임’을 하는 셈입니다.
대부분의 사람들은 저렴하기 때문에 알루미늄 반사체를 사용합니다. 하지만 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 점입니다. 알루미늄은 열을 반사시키는 대신 흡수해버립니다. 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용하는데, 이는 그런 문제가 없기 때문입니다. 금으로 코팅된 반사체는 적외선 에너지를 거의 전부 다시 웨이퍼로 반사시킵니다.
금의 장점
금이 장파 적외선 처리에 최적의 재료인 데에는 이유가 있습니다. 알루미늄도 한동안은 괜찮지만, 시간이 지나면 산화되어 효율성이 떨어집니다. 반면 금으로 코팅된 반사체는 그러한 문제가 없습니다. 금으로 코팅된 반사체는 적외선 에너지를 한 점으로 집중시켜줍니다. 그래서 웨이퍼가 빠르게 가열됩니다. 정밀한 반사체가 없다면, 고왁트의 램프를 사용해도 결국 장비의 금속 부품만 뜨거워질 뿐입니다. 완전한 낭비죠.
주의해야 할 점
금은 정밀한 도구이므로 조심스럽게 다뤄야 합니다. 오염을 매우 싫어합니다. 만약 클린룸의 관리가 소홀해져서 기름이나 화학물질이 반사체 표면에 닿으면 반사율이 떨어집니다. 강한 용매를 사용해서 반사체를 닦으려고 하면 코팅이 벗겨집니다. 반드시 조심해서 다뤄야 합니다.
설치 시 주의사항
이 반사체를 설치할 때는 램프의 위치를 반드시 확인해야 합니다. 단 2밀리미터만 잘못되어도 초점이 흐트러져 경화 과정이 고르지 않아집니다. 우리는 이 반사체가 바로 설치될 수 있도록 설계했지만, 열팽창으로 인한 문제를 피하기 위해 반드시 검사해야 합니다.