진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

300mm 웨이퍼 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5도 정도의 온도 변동만으로도 선의 굵기가 왜곡되어 많은 양의 웨이퍼가 폐기될 수 있습니다. 바로 이러한 상황을 해결하기 위해 우리는 진공 환경에도 적합한 IR 히터를 개발했습니다. 여기서는 열 관리...