왜 스마트 팹에서는 구식 오븐을 버려야 하는가? 스마트 팹을 구축하려면 가장 먼저 해야 할 일은 그런 구식 대류식 오븐에 의존하는 것을 그만두는 것입니다. 공장에서 열을 이용해 물건을 건조시키는 방식을 살펴볼 때마다, 우리는 항상 적외선 시스템을 사용할 것을 권장합니...

MEMS 웨이퍼를 골치 아픈 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼가 변형되거나 전체 제품에 오염이 생길 수 있습니다. 핵심은 열이 정확히 필요한 곳에...

300mm 공정에서는, 건조/베이킹 단계에서 0.1°C 미만의 온도 변동도 결코 ‘작은 변동’이 아니라는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 미세한 온도 변동도 나노미터 단위로 치명적인 영향을 미치며, 입자 수에도 부정적인 영향을 줍니다. 자동화된 웨이퍼 건조 히터는 단...

On the fab floor, the rinse step is a controlled risk. Leftover water means micro-contamination, and a weak dry cycle can force photoresist rework—or...