Di bilik pengeluaran, prosesnya memang sama saja. Perubahan suhu sebanyak 0.3°C boleh menyebabkan perubahan pada profil fotoresist sebanyak beberapa nanometer, dan ini seterusnya menyebabkan variasi lebar garis pada permukaan wafer. Walaupun prosesnya dilakukan dengan cara yang sama, hasilnya tetap tidak konsisten. Langkah pemanasan bukan sekadar memanaskan bahan tersebut; ia juga memerlukan ketepatan yang tinggi.
Apa yang penting di dalam proses ini
Kami membina lampu berlapis emas ini berdasarkan prinsip pelepasan cahaya inframerah gelombang pendek. Lapisan emas pada kaca kuarsa tersebut membantu memantulkan haba kembali ke kawasan proses, sehingga kecekapan haba meningkat dan titik panas dapat dikurangkan. Dengan ini, suhu di seluruh permukaan wafer dapat dikawal pada tahap ±0.1°C, sehingga proses pemanasan dapat berjalan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan. Bahan-bahan yang digunakan juga sesuai untuk digunakan dalam ruang bersih, sehingga penghasilan zarah-zarah berbahaya dapat dikurangkan. Oleh itu, lampu ini sesuai digunakan dalam persekitaran kelas 1–100.
Keluaran lampu tetap stabil walaupun digunakan selama ribuan jam, dan spektrum cahaya yang dihasilkan juga dikawal agar sesuai dengan keperluan fotoresist. Ini penting dalam proses litografi.
Mengapa ini penting dalam proses litografi
Langkah pemanasan ini bertujuan untuk meningkatkan daya lekat bahan tersebut, mengeluarkan bahan pelarut, serta mengawal dimensi bahan tersebut. Dengan kawalan suhu sebanyak ±0.1°C, kesilapan pada lapisan bahan dapat dikurangkan. Proses pembetulan juga dapat dikurangkan, dan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses juga dapat dipendekkan. Lampu ini boleh beroperasi 24/7 dengan jadual penyelenggaraan yang tetap, sehingga masa henti yang tidak dijangka dapat dikurangkan.
Hasilnya, jumlah bahan yang rosak akan berkurangan, hasil antara wafer akan lebih konsisten, dan proses pengeluaran akan tetap mematuhi spesifikasi yang ditetapkan.
Beberapa nota penting untuk diguna di bilik pengeluaran
Lapisan emas pada lampu ini direka untuk memberikan reflektiviti yang tinggi dan ketahanan yang baik. Namun, ia memerlukan penjagaan dan pembersihan yang teliti agar permukaannya tidak rosak. Pastikan lampu tersebut disesuaikan dengan geometri reflektor dan bekalan kuasa yang digunakan. Jika tidak, kualiti cahaya yang dihasilkan akan terjejas. Perlu ada masa untuk lampu mencapai keseimbangan suhu, dan perlu ada pemeriksaan berkala untuk memastikan konsistensi pengeluaran sepanjang hayat lampu tersebut.