Op de 300mm-lijn leer je al snel dat een afwijking van minder dan 0,1°C tijdens het drogen of bakken geen ‘kleine afwijking’ is. Deze afwijkingen zorgen er namelijk voor dat de nauwkeurigheid van de afmetingen met nanometers verandert, en dit heeft weer invloed op het aantal deeltjes dat wordt gegenereerd. Automatische droogheaters voor wafers zijn dus niet alleen een manier om extra warmte toe te voegen. Ze vormen ook een belangrijk onderdeel van het proces om de fotoresist op de juiste manier te behandelen, zodat de producten geschikt zijn voor gebruik – of anders moeten ze worden weggegooid.
Wat technisch gezien belangrijk is: We hebben de droogheater ontworpen met behulp van een thermisch module dat compatibel is met schone ruimtes. Hierdoor blijft de uniformiteit van de temperatuur op het niveau van de wafel binnen ±0,1°C, en de stabiliteit van de temperatuur ligt boven ±0,2°C gedurende 24 uur. De temperatuurstijgingen worden zo geregeld dat deze overeenkomen met de thermische eisen van de fotoresist. Hierdoor wordt voorkomen dat er te veel oplosmiddelen vrijkomen of dat de oppervlakte van de wafel beschadigd raakt. De kamers en ventilatiekanalen zijn zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen, waardoor de omstandigheden voldoen aan de ISO-classificatie 1–100. De herhalbaarheid van de temperatuur ligt bij ≤0,3°C tussen verschillende batches, waardoor het proces consequent kan worden uitgevoerd.
Dit werkt omdat de droogheater de viscositeit en spanning van de fotoresist nauwkeurig kan regelen. Hierdoor kan de vorm van de fotoresist worden vastgehouden voordat deze wordt geexposeerd en ontwikkeld. Met deze droogheater kun je problemen als onvolledige droging of ophoping van oplosmiddelen vermijden. Bovendien wordt de precisie van de afmetingen verbeterd door de thermische variabiliteit te beperken. De unit ondersteunt ook automatische procedures, zodat operators zonder moeite de juiste instellingen kunnen gebruiken. De energieverbruik neemt af, omdat de module alleen de benodigde delen van de wafel verwarmt, en niet de hele ruimte.
Een paar praktische tips: bij installatie is nauwe samenwerking nodig met de apparaten die worden gebruikt voor gasbehandeling, vacuüm en ventilatie. De droogheater moet ook goed passen bij de exacte afmetingen van de wafel en de chuck. Plan eerst een testrun om de temperatuur onder verschillende omstandigheden te meten, niet alleen in rusttoestand. Eenmaal geïnstalleerd kan de unit continu werken, maar er moet nog steeds regelmatig worden gekalibreerd en gecontroleerd om de uniformiteit en de kwaliteit van de wafels te waarborgen.