Na linii o długości 300 mm nawet półstopniowa odchylenia podczas procesu wypalania fotorezystu mogą doprowadzić do zmian szerokości linii i utraty dużej ilości produktów. W takich warunkach właśnie powstał ten grzejnik IR kompatybilny z próżnią – tam, gdzie ograniczenia termiczne są naprawdę dużymi barierami, a liczba cząstek w czystych pomieszczeniach mierzona jest w liczbach molekuli.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Używamy emitatorów krótkofalowego promieniowania podczerwonego w układzie kwarcowym, dzięki czemu ciepło trafia bezpośrednio do fotorezystu i podłoża. Czas reakcji wynosi mniej niż sekundę, nie jest potrzebny żaden kontakt fizyczny. W całej strefie procesowej jednorodność temperatury na poziomie płytki wynosi ±0,1°C, a powtarzalność między partiami produktów – ≤0,2°C.
Grzejnik może być zamontowany w komorach próżniowych oraz urządzeniach produkcyjnych za pomocą standaryzowanych zamków, przy czym uwzględniono również izolację RF/DC. Pozostaje czysty w środowiskach klasy 1–100, nie wytwarzając żadnych cząstek. Temperatura jest kontrolowana za pomocą kalibrowanej pirometrii, a profil termiczny może być porównywany z standardami NIST.
Dlaczego sprawdza się w litografii
W litografii konieczna jest stabilna temperatura podczas procesu wypalania, aby kontrolować usuwanie rozpuszczalników, napięcia w warstwie fotorezystu oraz inne czynniki wpływające na jakość produktu. Ten grzejnik umożliwia kontrolę temperatury, co zmniejsza zmienności i zwiększa wydajność produkcji. Szybka reakcja termiczna skraca także czas cyklu w komorze.
Kompatybilność z próżnią eliminuje ryzyko zanieczyszczeń spowodowanych wyciekami. Zużycie energii również maleje, ponieważ ciepło jest dostarczane na żądanie, a nie w postaci dużej, gorącej masy. Widzieliśmy, że te urządzenia mogą pracować przez ponad 5 000 godzin bez większych strat wydajności, co umożliwia ich ciągłą pracę 24/7 przy mniejszej liczbie awarii.
Co trzeba wiedzieć z góry
Instalacja polega na prawidłowym ustawieniu urządzenia w odniesieniu do płytki oraz dostosowaniu parametrów emisji do specyfikacji danego urządzenia. Szklane nośniki, warstwy ochronne itp. wpływają na efektywność przenoszenia ciepła.
To nie jest urządzenie typu „podłącz i używaj” dla każdej platformy. Potrzebny jest dedykowany interfejs sterujący oraz precyzyjne ustawienie mechaniczne. Konieczna jest krótka faza testowa, aby ustalić profil termiczny i dostosować go do specyfikacji procesu.