Automatyczny grzejnik do suszenia płytek krzemowych
W przypadku urządzeń o długości fali 300 mm szybko zdaje się, że odchylenie temperatury poniżej 0,1°C w fazie suszenia nie jest „małym odchyleniem”....
Szybkoschnąca płytka po płukaniu lampy
Na hali produkcyjnej etap płukania stanowi kontrolowane ryzyko. Pozostała woda oznacza mikro-zanieczyszczenia, a słaby cykl suszenia może wymusić...