Как сушить пластины MEMS без проблем
Сушка пластин датчиков MEMS – это процесс, требующий точного баланса. Необходимо как можно быстрее удалить воду с поверхности пластин, но если использовать высокую температуру, существует риск искажения структуры пластин или загрязнения всей партии изделий.
Секрет заключается в том, чтобы тепло достигало именно нужной области. Большинство устройств тратят много энергии на нагрев металлического корпуса. Мы решаем эту проблему, используя специализированные инфракрасные нагреватели в сочетании с отражателями, покрытыми золотом.
Почему именно золото?
Алюминий является стандартным материалом, но он не идеален: он поглощает слишком много инфракрасной энергии. Золото же отражает более 98% энергии в диапазоне ближнего инфракрасного света. В результате фотоны возвращаются прямо на поверхность пластины. Это похоже на использование лупы вместо лампы – таким образом тепло приходит точно туда, где это необходимо, без необходимости повышения мощности ламп.
Проблема: тепло и мощность
При выборе нагревателей необходимо учитывать мощность и площадь поверхности. Высокомощные лампы помогают ускорить процесс сушки, но они сильно нагреваются. Если система охлаждения не справляется с выделяющимся теплом, возникают проблемы: искажение структуры пластин или порча датчиков. Поэтому мы тратим много времени на настройку фокуса нагревателя, чтобы тепло попадало точно на поверхность пластины.
Обслуживание устройства
Эти устройства предназначены для замены стандартных инфракрасных нагревателей. Мы уделяем особое внимание расстоянию между излучателем и отражателем – именно там возникают «мертвые зоны», где тепло просто накапливается и не оказывает никакого эффекта.
Небольшой совет: золото является мягким материалом; оно не выдерживает агрессивную чистку, в отличие от алюминия. Если использовать агрессивные очистители, поверхность может пострадать. Это приведет к снижению эффективности устройства и увеличению расходов на электроэнергию. Лучше использовать специальные оптические очистители.