Откажитесь от использования горячего воздуха: почему вакуумные инфракрасные нагреватели – лучший выбор
Если вы до сих пор используете горячий воздух для обработки полупроводников, вы, вероятно, заметили его медленность. Это раздражает. Вы вынуждены ждать, пока всё пространство камеры и каждая молекула воздуха в ней нагреются, прежде чем пластина начнет реагировать на тепло. Этот процесс слишком медленный, что снижает эффективность работы.
Поэтому мы перешли на использование вакуумных инфракрасных нагревателей. Мы полностью исключаем воздух из процесса нагрева.
Скорость нагрева просто огромна. Инфракрасные нагреватели используют электромагнитное излучение. В вакууме нет ничего, что могло бы препятствовать этому излучению. Фотоны попадают прямо на поверхность подложки. Нет необходимости в нагреве всей комнаты или ожидании, пока тепло распространится по помещению. Реакция на тепло происходит почти мгновенно.
Для менеджера завода это настоящий рай. Время нагрева сокращается с 20 минут до нескольких секунд.
Но нельзя просто использовать любой нагреватель. Условия в вакууме очень сложные для оборудования. Мы используем кварцевые элементы с высокой плотностью мощности, чтобы сосредоточить тепло. Но поскольку нет воздуха, который мог бы уносить лишнее тепло, оборудование подвергается значительному напряжению.
Обратите внимание на систему охлаждения. Если она недостаточно мощная, это может привести к деформации креплений камеры или повреждению уплотнителей. Это серьезная проблема.
Хорошая новость заключается в том, что размеры оборудования сокращаются. Можно отказаться от огромных вентиляторов и сложных систем трубопроводов. Достаточно просто подключить инфракрасные нагреватели и настроить контроллеры PID.
Но есть один недостаток: однородность нагрева. Инфракрасное излучение имеет направленный характер, поэтому без должной коррекции могут возникнуть точки повышенной температуры. Мы решаем эту проблему с помощью зеркал, покрытых золотом, или устройств с множеством углов излучения, что позволяет равномерно распределять тепло по поверхности.
Кроме того, важен фактор чистоты. Когда прекращается циркуляция воздуха, исчезают частицы и турбулентности в окружении обрабатываемой поверхности. Никаких проблем, только чистое, направленное излучение.