На лінії обробки чипів діаметром 300 мм швидко розумієш, що відхилення температури на рівні менше 0,1°C під час процедури сушіння/випалювання не є „незначним“ відхиленням. Це призводить до зміни критичних параметрів на рівні нанометрів, а також до зміни кількості частинок у неправильному напрямку. Автоматичні нагрівачі для сушіння чипів – це не просто додаткове джерело тепла. Вони є елементом, який забезпечує стабільну температуру під час процедур м’якого та жорсткого випалювання фотолаку, а також під час сушіння після очищення. Це вирішує питання про те, чи можна відправити партию продукції, чи її потрібно знищити.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми розробили нагрівач таким чином, щоб він відповідав стандартам чистих приміщень: температура на всій поверхні чипа залишається стабільною в межах ±0,1°C протягом 24 годин. Температура регулюється так, щоб вона відповідала температурним умовам фотолаку, що запобігає появі опадів розчинника чи інших проблем. Конструкція камери та системи відведення повітря забезпечує відсутність частинок у повітрі, що дозволяє підтримувати рівень чистоти відповідно до стандартів ISO Class 1–100. Повторюваність результатів обробки становить ≤0,3°C між різними партіями продукції, що забезпечує стабільність процесу.
Чому так відбувається
У процесах літографії та інтеграції елементів стабільне контролювання температури під час процедури м’якого випалювання допомагає контролювати в’язкість та напруження в фотолаку. Стабільне контролювання температури під час процедури жорсткого випалювання дозволяє фіксувати потрібну форму елементів перед процедурою експозиції та обробки. За допомогою цього нагрівача можна уникнути необхідності повторної обробки чипів, а також стабілізувати їх параметри завдяки усуненню температурних коливань. Устройство підтримує автоматизовані алгоритми обробки, тож оператори можуть користуватися ним без необхідності припусків. Крім того, енергоспоживання зменшується, оскільки нагрівач нагріває лише визначений діапазон, а не всю камеру.
Кілька практичних порад
Під час встановлення необхідно ретельно координувати роботу нагрівача з системами подачі газу, вакууму та відведення повітря. Нагрівач також має відповідати розміру чипів та формі кріплення їх у камері.Необхідно провести тестування для визначення температури в умовах роботи, а не лише в стані спокою. Після налаштування нагрівач може працювати без перерв, але все одно потребує регулярної калібрації та перевірки фільтрів для забезпечення стабільності параметрів.