Відмовтеся від використання гарячого повітря: чому саме вакуумні інфрачервоні обігрівачі є кращим рішенням
Якщо ви все ще використовуєте гаряче повітря для обробки напівпровідників, напевно, вже помітили його недоліки. Це дуже дратує – потрібно чекати, поки нагріється весь приміщення та кожна молекула повітря, перш ніж пластинка почне реагувати на тепло. Це повільний процес, який уповільнює роботу.
Саме тому ми перейшли на використання вакуумних інфрачервоних обігрівачів. Ми просто усуваємо повітря з процесу нагріву.
Швидкість нагріву просто приголомшлююча.
Уявіть собі: інфрачервоні обігрівачі використовують електромагнітне випромінювання. У вакуумі немає жодних перешкод – фотони потрапляють безпосередньо на поверхню матеріалу. Не потрібно чекати, поки тепло пошириться по кімнаті чи поки повітря перенесе тепло. Теплова реакція відбувається майже миттєво.
Для керівника заводу це справжній чудо-рішення – час підготовки скорочується з 20 хвилин до кількох секунд.
Але не можна просто поставити там будь-яку лампу. У вакуумному середовищі обладнання піддається значним навантаженням. Ми використовуємо кварцові елементи високої потужності, щоб зосередити тепло. Але оскільки немає повітря, яке могло б відводити зайве тепло, обладнання сильно перегрівається.
Зверніть увагу на систему охолодження. Якщо система охолодження недостатньо потужна, це може призвести до пошкодження обладнання чи його займання. Це серйозна проблема.
Цікаво те, що розміри обладнання зменшуються. Не потрібно використовувати великі вентилятори чи складну систему трубопроводів. Достатньо просто підключити інфрачервоні обігрівачі та налаштувати контролери.
Однак є одна проблема – однорідність нагріву. Інфрачервоне випромінювання є напрямленим, тож можуть виникнути „гарячі точки“, якщо не бути обережними. Ми вирішуємо цю проблему за допомогою відбивачів, покритих золотом, чи багатокутних структур, які дозволяють рівномірно розподіляти тепло по поверхні об’єкта.
Крім того, важлива ще й чистота середовища. Коли припиняється циркуляція повітря, припиняється також рух частинок та турбуленції. Немає забруднень, немає ризиків – лише чисте, пряме випромінювання.