ہم نے اس “لیم ریسرچ ہیٹر” کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ یہ جدید ویفر پروسیسنگ کے دوران پیدا ہونے والی شدید حرارت کا مقابلہ کر سکے۔ اس کا مقصد یہ ہے کہ درجہ حرارت کو ہر بار مطلوبہ سطح پر برقرار رکھا جائے، یعنی 0.1°C کے فرق کے اندر۔ جب پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کی پیمائش نینومیٹر میں کی جاتی ہے، تو درجہ حرارت میں ہونے والی تغیرات صرف “تسامحی حد” نہیں ہوتے؛ بلکہ یہ اچھے ویفرز اور وقت کے ضیاع کے درمیان فرق ہوتے ہیں۔
پاور، وولٹیج، اور فٹنگ: مستقل کنٹرول
ہم نے ان ہیٹروں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ یہ چھوٹے سے رقبے میں زیادہ حرارت پیدا کر سکیں۔ 400V کا ان پٹ اس لئے استعمال کیا گیا ہے تاکہ تاروں میں بہنے والی کرنٹ کم ہو، جس سے تاروں میں ہونے والے نقصانات کم ہوتے ہیں، اور ٹرمینلوں کا درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے۔ یہ بہت اہم ہے، خاص طور پر جب ماڈیول ایک دوسرے کے قریب رکھے جاتے ہیں اور جگہ کم ہوتی ہے۔
واٹج کو اصل چیمبر کے بوجھ کے مطابق منتخب کیا گیا ہے، تاکہ PID لوپ کو سیٹ پوائنٹ تلاش کرنے کی ضرورت نہ پڑے۔ اور ٹیوب کی لمبائی اور قطر کو ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ یہ چیمبر کی ساخت کے مطابق ہو، تاکہ گرم علاقہ بالکل وہیں ہو جہاں پروسیسنگ کے لئے ضروری ہے۔ عملی طور پر، اس کا مطلب یہ ہے کہ پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت مستقل رہتا ہے، اور پورے سسٹم کو دوبارہ ترتیب دینے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
اندر کیا ہے: ہیلوجن، کوارٹز، کوٹنگ، اور کنیکٹرز
اندر، ہیلوجن عنصر کووارٹز کے خول میں موجود ہے۔ ہیلوجن کیمیاء کی وجہ سے یہ عنصر اعلی درجہ حرارت پر بھی مستحکم رہتا ہے، اور وقت کے ساتھ سیاہ ہونے کی عمل بھی کم ہو جاتی ہے، جس سے پروڈکشن کے دوران درجہ حرارت مستقل رہتا ہے۔ کوارٹز کا خول تیز حرارتی تغیرات کو برداشت کر سکتا ہے، اور حرارتی صدموں کی وجہ سے ٹوٹنے سے بھی بچتا ہے۔
کوٹنگ شدہ سطح، حرارت کی تقسیم کو کنٹرول کرنے میں مدد کرتی ہے، اور گرم نقاط کو روکتی ہے، جس سے مطلوبہ علاقے میں درجہ حرارت مستقل رہتا ہے – یہی وہ چیز ہے جو 0.1°C کی درستگی حاصل کرنے کے لئے ضروری ہے۔ انسٹالیشن کے لئے، ہم R7s اور SK15 جیسے کنیکٹرز استعمال کرتے ہیں۔ یہ کنیکٹرز اعلی درجہ حرارت والے سسٹموں کے لئے بنائے گئے ہیں، اور مضبوط کنکشن فراہم کرتے ہیں، اور انسٹالیشن بھی آسان ہے – کوئی آرکنگ نہیں، کوئی ڈھیلے پن نہیں۔
عملی اثرات: سیمی کنڈکٹر پروڈکشن، بغیر زیادہ لاگت کے
یہ سسٹم ایسے سیمی کنڈکٹر چیمبروں کے لئے بنایا گیا ہے، جہاں مستقل کارکردگی اور دہرائی کی صلاحیت ہی اہم ہے۔ اس سے درجہ حرارت کا مستقل کنٹرول ممکن ہوتا ہے، اور حرارت کی تقسیم بھی بہتر ہوتی ہے، اور اس کی ساخت بھی اصل چیمبر کے مطابق ہے۔
تاہم، ایک بڑا نقصان یہ ہے کہ اعلی حرارت کی وجہ سے کولنگ اور الیکٹریکل وائرنگ کو بھی معیاری ہونا ضروری ہے۔ اگر مشین کی کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو لیمپ کا درجہ حرارت منصوبے سے زیادہ ہو جاتا ہے۔ لیکن جب سسٹم مناسب طریقے سے منظم ہوتا ہے، تو 0.1°C کی درستگی حاصل کی جا سکتی ہے، اور یہ لاگت بھی مناسب ہے۔