ہم لیڈ-فری سیمی کنڈکٹر معیارات کے لئے آئی آر کیوئرنگ کا استعمال کیوں کرتے ہیں؟
جب لوگ ویفر ٹولز کی تیاری میں “گرین” یا “لیڈ-فری” تکنیکوں کی بات کرتے ہیں، تو وہ عموماً کیمیکلز پر توجہ دیتے ہیں۔ لیکن در حقیقت اصل مسئلہ یہ ہے کہ حرارت کو کس طرح استعمال کیا جائے۔
اسی لئے ہم آئنفراریڈ کیوئرنگ کا سہارا لیتے ہیں۔ پورے ٹول چیمبر کو گرم کرنے کے بجائے، ہم صرف سبسٹریٹ کو ہی گرم کرتے ہیں۔
حرارت کو اس جگہ پہنچانا جہاں اس کی ضرورت ہے
ایک عام کنویکشن اوون کے بارے میں سوچیں… یہ ہوا کو گرم کرنے میں بہت وقت خرچ کرتا ہے… یہ بالکل ضائع وقت ہے۔
آئنفراریڈ مختلف ہے… یہ الیکٹرومیگنیٹک شعاعوں کا استعمال کرکے ایڈہیسیو یا فوٹوریزسٹ میں موجود مولیکیولوں کو حرکت دیتا ہے… نتیجے کے طور پر، ویفر چند سیکنڈوں میں ہی مناسب درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے… آپ کو مشین کے پورے حصوں سے لڑنے کی ضرورت نہیں ہے… یہی وجہ ہے کہ آئنفراریڈ کو کلین روم میں توانائی بچانے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے۔
درست درجہ حرارت کو برقرار رکھنا
لیڈ-فری پولیمرز اور سولڈرز بہت حساس ہوتے ہیں… ان کے لئے درجہ حرارت کی حد بہت محدود ہوتی ہے… اگر درجہ حرارت بہت زیادہ ہو جائے، تو ویفر خراب ہو سکتا ہے… اس سے بچنے کے لئے، ہم ٹول میں درستگی سے سینسرز نصب کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت پر نظر رکھی جا سکے…
چونکہ ہم شارٹ-ویو آئنفراریڈ کا استعمال کرتے ہیں، اس لئے ہم حرارت کو فوراً بڑھا یا کم کر سکتے ہیں… یہ ایک ایسا کنٹرول ہے جو سست رفتار، بڑے پیمانے پر حرارت پیدا کرنے والے طریقوں سے حاصل نہیں کیا جا سکتا…
تضادات (کیونکہ ہمیشہ کوئی نہ کوئی تضاد ہوتا ہے)
آئنفراریڈ بہت تیز ہے… لیکن اس تیزی کے ساتھ ایک مشکل بھی ہے… حرارت کی کثافت بہت زیادہ ہوتی ہے… اگر سینسرز غلط جگہ پر ہوں، یا PID لوپ درست طریقے سے کام نہ کرے، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو سکتے ہیں… اس کے علاوہ، آپ کو یہ بھی یقینی بنانا ہوگا کہ کولنگ سسٹم اس تیز رفتار حرارت کو سنبھال سکے… ورنہ سینسرز خراب ہو سکتے ہیں…
ہم نے پایا کہ جب آئنفراریڈ ایمیٹرز کو اعلیٰ فریکوئنسی والے سینسرز کے ساتھ استعمال کیا جاتا ہے، تو ہر چیز ان محدود حدود کے اندر رہتی ہے… اور کسی بھی زہریلے حرارت پیدا کرنے والے عناصر کی ضرورت نہیں پڑتی۔