Hãy từ bỏ việc sử dụng không khí nóng để xử lý các linh kiện bán dẫn đi – vì đó là cách làm kém hiệu quả. Nếu bạn vẫn tiếp tục sử dụng phương pháp này, chắc hẳn bạn đã nhận thấy sự chậm trễ trong quá trình xử lý. Điều này thật khó chịu; bạn phải chờ cho đến khi toàn bộ không khí trong buồng xử lý được làm nóng trước khi wafer có thể được xử lý. Đó là một quá trình chậm chạp, khiến bạn mất nhiều thời gian.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng bộ sưởi công nghệ IR trong môi trường chân không. Chúng tôi loại bỏ hoàn toàn yếu tố không khí ra khỏi quá trình xử lý.
Tốc độ xử lý thì cực kỳ nhanh. Hãy tưởng tượng rằng bộ sưởi IR sử dụng bức xạ điện từ. Trong môi trường chân không, không có gì cản trở bức xạ này. Các photon tác động trực tiếp lên bề mặt vật liệu cần xử lý. Không cần phải chờ cho đến khi không gian xung quanh được làm nóng; phản ứng nhiệt diễn ra ngay lập tức.
Đối với người quản lý nhà máy, đây quả là giải pháp tuyệt vời. Thời gian cần thiết để chuẩn bị thiết bị giảm từ 20 phút xuống còn vài giây.
Nhưng bạn không thể đơn giản chỉ cắm một chiếc đèn vào đó thôi. Môi trường chân không rất khắc nghiệt đối với các thiết bị điện tử. Chúng tôi sử dụng các linh kiện thạch anh có mật độ năng lượng cao để tập trung nhiệt lượng. Nhưng vì không có không khí để mang đi lượng nhiệt dư thừa, nên thiết bị sẽ bị tổn thương nghiêm trọng.
Hãy chú ý đến hệ thống làm mát của thiết bị. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt dư thừa, thiết bị có thể bị hỏng. Đó là vấn đề mà bạn không muốn gặp phải.
Điểm tốt nhất là diện tích cần thiết để lắp đặt thiết bị giảm đi đáng kể. Bạn có thể loại bỏ những chiếc quạt lớn và các ống dẫn khí phức tạp. Chỉ cần kết nối các bộ sưởi IR với hệ thống PID là được.
Nhưng vẫn còn một vấn đề: tính đồng đều của nhiệt độ. Bức xạ IR có tính hướng động, vì vậy nếu không cẩn thận, bạn có thể gặp phải tình trạng có những điểm nóng không đồng đều. Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các tấm phản xạ được phủ vàng hoặc các bộ phản xạ đa góc để lan tỏa nhiệt đều khắp bề mặt vật liệu cần xử lý.
Ngoài ra, còn có yếu tố về độ sạch. Khi ngừng luân chuyển không khí, các hạt bụi và dòng chảy khí cũng sẽ ngừng di chuyển. Không còn bụi bẩn, không còn rủi ro. Chỉ còn lại bức xạ sạch và trực tiếp mà thôi.