装置が爆発することなくウェーハを加熱する方法
化学的洗浄の際にウェーハを加熱するのは、かなり危険な作業です。正確な温度制御が必要ですが、その作業は可燃性の溶剤のすぐそばで行われます。注意しなければ、大変な事態になりかねません。安全を保つために、私たちは、このような環境下で火災を引き起こさない特殊な赤外線ランプを使用しています。
「スパークのない」設計
ほとんどの赤外線ランプは「オープンエレメント式」であり、つまり、加熱用のフィラメントがそのまま露出しているということです。化学的洗浄の場では、わずかなスパークや高温の表面だけで火災が発生する可能性があります。
私たちはそうしないように、すべてを密封された、防爆性のある石英ケースに収めています。これにより、電気部分が化学薬品の蒸気から完全に隔離されます。また、電極の接合部には特別なシーリング材を使用し、ガスが内部に入らないようにしています。
適切な冷却
これらのランプは短波長の赤外線を利用しています。その利点は、エネルギーが直接ウェーハに伝わるということです。空気や周囲の化学薬品を温める時間が無駄になりません。
エネルギーが集中しているため、ランプの外部の温度は、使用されている化学薬品の自発点火点以下に保たれます。これにより、より安全に加熱処理が可能になります。
しかし、注意が必要なのは、空気の流れです。もし換気がうまくいかず、蒸気が溜まってしまうと、たとえ密封されていても、表面が過度に高温になり、危険になります。そのため、これらのランプにはサーモカップルが組み込まれており、過熱を防ぐための安全装置として機能します。
装置のメンテナンス
これらのランプは、既存の装置にそのまま取り付けられるように設計されているので、ライン全体を再設計する必要はありません。配線は難燃性のチューブを通して接続されており、長時間の稼働中にケーブルが焼損するのを防ぎます。
また、これらのランプは腐食しやすい環境にあるため、ガラスが化学薬品に侵食されないように処理が施されています。
ちょっとしたコツとして、ガラスの状態を定期的にチェックしてください。もしガラスが曇ってしまうと、熱伝達が悪くなり、ランプはより多くのエネルギーを使って補償しなければならず、それによって早期に故障する可能性があります。500時間ごとにガラスの状態を確認して、透明であることを確認してください。そうすれば、装置も安心です。