オーブンを待つのはやめましょう：より優れたバイオセンサーの製造方法
もし半導体工場でバイオセンサーを作っているなら、ご存知の通り、材料を硬化させて乾燥させる必要があります。多くの場合、そのためには熱風を使うしかありません。
しかし問題は、熱風の速度が遅いことです。これがボトルネックとなっています。対流式の場合、実質的には巨大な空気の箱を加熱し、その熱が最終的に基板上に届くのを待つことになります。時間がかかりすぎます。数時間もの時間を無駄にしてしまいます。
中間業者を排除しよう
そこで役立つのが赤外線ランプです。部屋全体を温める代わりに、赤外線が直接センサー材料にエネルギーを与えます。瞬時に処理できます。つまり、準備時間を数分から数秒に短縮できるのです。
何千枚ものウェーハを扱う場合、この数秒の節約は大変重要です。対流の遅れに悩まされることがなくなるので、毎日の生産量が大幅に向上します。
サイズは小さいが効果は大きい
赤外線を使う利点は、時間だけでなく、スペースの面でもあります。巨大な熱風オーブンは場所を大量に取りますが、赤外線アレイは非常に小さいです。工場のレイアウトを変更することなく、そのまま製造ラインに組み込むことができます。
ただし注意が必要です。赤外線の力が強すぎるため、PIDコントローラーを適切に設定しないと、温度が過剰に上昇してしまいます。そのため、繊細な有機層を破壊しないように、高速な熱電対を用意しておく必要があります。
重要な場所に熱を加える
業界では、精度を高めるために赤外線が利用されています。ウェーハの特定の部分だけを加熱できるので、他の部分に影響を与えません。これにより、基板への負担も軽減されます。
さらに、電気代も節約できます。熱風オーブンの場合、金属製の箱の壁を温めるために費用がかかりますが、赤外線の場合は、エネルギーが正確に必要な場所に送られます。パルス電源を使えば、硬化曲線を完全に制御できます。これは、より効率的な作業方法です。