シャードの発生を防ぐ：ウェハ洗浄工程におけるIRランプのより良い利用方法
大量のウェハを生産している方なら、その悪夢のような状況をご存知でしょう。ウェハ洗浄工程でIR加熱を行っていると、突然ランプが壊れてしまいます。これは大惨事です。クォーツ管が破損すると、ガラスの破片や化学物質がウェハに付着してしまい、そのウェハは廃棄処分になってしまいます。
私たちはそのようなリスクにうんざりし、もはや開放型のランプを使わないようにしました。代わりに、防水性の高い封入型の構造を採用しました。
なぜランプが壊れるのか
実際、一般的なIRランプは洗浄環境向けには設計されていません。通常、密封部に水分が入ったり、単純な熱衝撃によって故障します。例えば、600℃の高温にある管に、わずかな水滴がぶつかるだけで、巨大な応力が生じ、ランプが壊れてしまいます。
これを解決するために、高純度のクォーツ製のケースを、化学物質に耐性のある材料で作られた防水ジャケットの中に収めました。これにより、水が高温のクォーツに触れることがなく、クォーツが破損することもありません。
安全性の確保
私たちは、加熱要素を外部と完全に隔離するために、特殊なシールや強化されたエンドキャップを使用しました。これにより、高出力で運転しても、液体が漏れ出して電気系統に影響を与える心配がありません。
ただし、一つアドバイスがあります。電源装置をしっかりチェックしてください。電圧やワット数がランプの仕様に合っているかを確認してください。過剰な負荷をかけると、内部の圧力が上昇し、時間が経つにつれて防水シールが劣化してしまいます。
設置の簡便さ
最良な点は、これが交換可能な商品だということです。もう複雑な保護装置を使う必要はありません。熱源が密封されているので、ガラスの破片がウェハに落ちる心配もありません。
ただし、冷却については注意が必要です。外側のジャケットによって熱が多少蓄積されるため、冷却ファンが十分に機能しているかを確認してください。
これは、多くの面倒を省いてくれる簡単な解決策です。