IR 가열 장비를 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100급의 청정실을 운영하고 있다면, 아마도 이미 알고 있겠지만, 먼지 한 알이나 이상한 화학물질의 증기만 있어도 전체 제품이 망가질 수 있습니다.
반도체 가열 과정에서는 대부분의 사람들이 고순도 석영 IR 램프에 집중합니다. 물론 그것도 중요하지만, 실제 문제는 램프 자체가 아니라, 텅스텐 필라멘트에 전력을 공급하는 배선에 있습니다.
숨겨진 원인: 절연체
일반적인 PVC나 실리콘으로 만들어진 배선은 IR 램프의 열을 견딜 수 없습니다. 결국 그 절연체가 파괴되고, 그때부터 문제가 생깁니다. 이로 인해 휘발성 유기화합물(VOCs)이 방출되고, 미세한 입자들도 발생합니다.
반도체 공장에서는 이러한 입자들이 그냥 사라지지 않고 웨이퍼 위에 닿게 됩니다. 이로 인해 제품의 품질이 저하됩니다.
저희는 Teflon(PTFE)로 만들어진 절연체를 사용함으로써 이 문제를 해결했습니다. PTFE는 화학적으로 안정적이어서 고온에서도 변질되지 않습니다. 또한 가스가 발생하지도 않으며, 램프가 최고 온도에 도달해도 녹거나 떨어지지 않습니다. PTFE와 고순도 석영을 함께 사용하면 공기 중의 오염물질을 효과적으로 차단할 수 있습니다.
열의 현실
저희는 빛의 일관성을 유지하기 위해 고순도 SiO2로 만들어진 커버를 램프에 사용합니다. 이렇게 하면 저가형 유리에서 나타나는 ‘노란색 변색’ 현상을 방지할 수 있습니다. 이 커버가 없으면 적외선의 파장이 변해 기판의 가열이 고르지 않아집니다.
하지만 배선을 어디에 설치할지에 대해서는 신중해야 합니다.
PTFE는 열에 강하지만, 결국에는 한계가 있습니다. 만약 열 차단재 없이 배선을 석영 커버에 너무 가까이 설치한다면 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 배선의 온도가 260°C 미만으로 유지되도록 적절한 간격을 두는 것이 중요합니다.
귀하의 시스템에 적용하는 방법
이러한 구조는 귀하의 경화 및 건조 공정에 바로 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 별다른 조작이 필요 없습니다.
또한 금도금이나 니켈도금된 커넥터도 사용합니다. 왜냐하면 접점에서의 산화는 큰 문제가 되기 때문입니다. 깨끗하게 유지함으로써 전류가 안정적으로 흐르도록 하고, 아크 발생을 방지할 수 있습니다. 결국 청정실에서는 금속 입자가 날아다니는 것을 막아야 합니다.