Tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử nước bằng tia hồng ngoại trong việc sản xuất các linh kiện bán dẫn không chứa chì?
Khi mọi người nói về việc “sử dụng vật liệu thân thiện với môi trường” hoặc “sản xuất linh kiện không chứa chì”, họ thường tập trung vào các chất hóa học được sử dụng. Nhưng thực ra, điều quan trọng hơn là cách chúng ta kiểm soát nhiệt độ.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp khử nước bằng tia hồng ngoại. Thay vì phải làm nóng toàn bộ buồng xử lý, chúng ta chỉ cần tập trung làm nóng chính bề mặt của wafer mà thôi.
Đưa nhiệt độ đến đúng vị trí cần thiết
Hãy tưởng tượng về một lò nướng thông thường: nó mất rất nhiều thời gian để làm nóng không khí bên trong lò. Điều này thật lãng phí.
Ngược lại, tia hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để khiến các phân tử trong chất kết dính hoặc chất bảo vệ wafer chuyển động. Kết quả là wafer sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây. Bạn không cần phải đối phó với toàn bộ máy móc, và đó chính là lý do tại sao phương pháp này được ưa chuộng để tiết kiệm năng lượng trong môi trường sản xuất sạch.
Giữ nhiệt độ ở mức phù hợp
Các polyme và chất kết dính không chứa chì rất nhạy cảm với nhiệt độ. Nếu nhiệt độ quá cao, wafer sẽ bị biến dạng hoặc bị hỏng vĩnh viễn. Để tránh điều này, chúng ta cần lắp đặt các cảm biến chính xác để giám sát nhiệt độ trong quá trình xử lý.
Vì chúng ta sử dụng tia hồng ngoại có bước sóng ngắn, nên chúng ta có thể tăng hoặc giảm nhiệt độ một cách nhanh chóng. Đây là mức độ kiểm soát mà các phương pháp làm nóng thông thường không thể đạt được.
Nhược điểm của phương pháp này
Tia hồng ngoại mang lại tốc độ xử lý rất nhanh. Nhưng tốc độ này đi kèm với một nhược điểm: mật độ nhiệt rất cao. Nếu cảm biến được đặt ở vị trí sai hoặc hệ thống kiểm soát nhiệt độ không được điều chỉnh đúng cách, wafer sẽ bị nóng quá mức. Ngoài ra, bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát có thể theo kịp tốc độ thay đổi nhiệt độ này; nếu không, các cảm biến sẽ bị hỏng.
Chúng tôi nhận thấy rằng phương pháp tốt nhất là kết hợp tia hồng ngoại với các cảm biến tần số cao. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ở mức phù hợp, mà không cần sử dụng các chất làm nóng độc hại.