如何让红外加热设备始终保持清洁
如果您在操作100级洁净室，那么您一定知道：哪怕有一点灰尘或化学蒸汽存在，整个生产批次都会毁掉。
在半导体加热领域，人们通常会关注高纯度的石英红外灯。当然，这一点很重要。但实际上，灯光本身只是问题的一半而已。真正的麻烦往往出在为钨丝供电的线路上。
隐藏的隐患：绝缘材料
普通的PVC或硅树脂绝缘材料根本无法承受红外灯产生的高温。最终，这些绝缘材料会开始分解，从而释放出挥发性有机化合物，并产生微小的碎片。在半导体制造厂里，这些颗粒不会消失，而是直接落在晶圆上，进而导致产品品质下降。
为了解决这个问题，我们改用了特氟龙（PTFE）作为绝缘材料。它具有化学稳定性，即使在高温环境下也能保持稳定。它不会释放任何气体，也不会在灯达到最高温度时熔化或滴落。将PTFE与高纯度石英结合使用，就可以有效消除空气中的杂质。
热量的影响
我们使用高纯度的SiO2材料来封装红外灯，这样可以确保光的稳定性。这样就不会出现廉价玻璃灯所导致的“黄化”现象。如果没有这种封装，红外光的波长就会发生变化，从而导致基片上的加热不均匀。
不过，布线时还是需要小心处理。虽然PTFE具有很高的耐热性，但它也有其耐受极限。如果将电线放置得太靠近石英灯的外壳，而没有采取隔热措施，那就会引发问题。我们建议保留一定的间距，以使电线温度保持在260摄氏度以下。
如何在您的系统中实现这一目标
这些组件可以直接替代现有的固化及干燥设备，使用时无需复杂操作。
我们还使用了镀金或镀镍的连接器。因为接触点的氧化会带来很多问题。通过保持连接点的清洁，我们可以确保电流稳定流动，避免电弧现象。毕竟，在洁净室里，最不希望看到的就是金属颗粒的飞散。