Opusťte horký vzduch: Proč je vakuumové infračervené zahřívání tou správnou cestou
Pokud stále používáte k zpracování polovodičů metodu cirkulace horkého vzduchu, pravděpodobně jste si všimli jejích nevýhod. Je to frustrující – v podstatě čekáte, až se celá komora a každá molekula vzduchu uvnitř ohřejí, než začne wafer reagovat. Jedná se o pomalý proces, který ničí veškerý váš pokrok.
Proto jsme přešli na vakuumové infračervené zahřívací prvky. V podstatě prostě odstraníme vzduch z rovnice.
Rychlost je úžasná.
Představte si to takto: infračervené zahřívací prvky využívají elektromagnetické záření. Ve vakuu nic nebrání tomu, aby fotony dopadly přímo na substrát. Není potřeba „ohřívat“ místnost, není potřeba čekat, až teplý vzduch odnese teplo pryč. Dochází tedy k téměř okamžité reakci.
Pro manažera výrobní haly je to sen – doba potřebná na rozehřátí se zkrátí z 20 minut na několik sekund.
Ale nemůžete tam prostě umístit jakoukoliv lampu. Vakuumové prostředí je kruté pro hardwarové komponenty. Používáme kvartové prvky s vysokou hustotou výkonu, abychom udrželi teplo soustředěné na jednom místě. Ale protože tu není vzduch, který by odnesl nadbytečné teplo, zařízení musí vydržet opravdu velké zatížení.
Věnujte pozornost chladicím systémům. Pokud váš chladicí systém není dostatečně silný na to, aby zvládl odvod tepla, mohou dojít k poškození konstrukce komory nebo jejích uzavíracích prvků. To je opravdu problém, který nechcete mít.
Skvělé na tom je, že se zmenší velikost zařízení. Můžete se zbavit těch obrovských ventilátorů a všech složitých potrubních systémů. Stačí pouze zapojit infračervené zahřívací prvky, nastavit parametry řízení a je to.
Je tu však jeden problém: rovnoměrnost. Infračervené záření je směrové, takže pokud nebudete opatrní, můžete mít „horká místa“. Abychom to vyřešili, používáme zrcátka potažená zlatem nebo víceúhlové systémy, které „obalí“ teplo kolem dané části.
Kromě toho je tu ještě faktor čistoty. Když přestanete cirkulovat vzduch, přestanou se pohybovat částice a turbulence kolem pracovní plochy. Žádný odpad, žádné riziko. Jen čisté, přímé záření.