Vermeiden Sie die Verwendung von heißer Luft – Warum Vakuum-Infrarotheizungen die bessere Lösung sind
Falls Sie immer noch auf die Verwendung von heißer Luft zur Bearbeitung von Halbleitern setzen, haben Sie sicherlich bereits die langen Wartezeiten bemerkt. Das ist frustrierend. Im Grunde genommen muss der gesamte Behälter sowie jede Luftmolekül darin erst erwärmt werden, bevor das Wafer überhaupt etwas spürt. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess, der Ihre Effizienz beeinträchtigt.
Deshalb haben wir auf Vakuum-Infrarotheizungen umgestellt. Dadurch wird die Luft komplett aus dem Spiel gelassen. Die Geschwindigkeit ist beeindruckend. Stellen Sie sich vor: Infrarotheizungen nutzen elektromagnetische Strahlung. Im Vakuum gibt es nichts, was der Strahlung im Weg steht. Die Photonen treffen direkt auf das Substrat. Es muss nicht erst der Raum erhitzt werden – man muss auch nicht darauf warten, dass eine Brise die Wärme verteilt. Die thermische Reaktion erfolgt fast sofort.
Für einen Fabrikleiter ist das ein Traum: Die Zeit, die früher für die Aufwärmphase benötigt wurde, verkürzt sich auf Sekunden.
Aber man kann einfach nicht irgendeine Lampe verwenden. Vakuumumgebungen sind sehr anspruchsvoll für die Ausrüstung. Wir verwenden Quarzelemente mit hoher Leistungsdichte, um die Wärme zu konzentrieren. Da es jedoch keine Luft gibt, die die überschüssige Wärme wegtransportieren könnte, wird die Ausrüstung stark belastet.
Achten Sie außerdem auf die Kühlsysteme. Wenn das Kühlsystem nicht ausreichend leistungsstark ist, können die Halterungen des Behälters beschädigt werden oder die Dichtungen können zerstört werden. Das ist wirklich ein Problem, das man vermeiden sollte.
Das Gute daran: Der Platzbedarf verringert sich. Man kann auf riesige Lüfter sowie alle komplizierten Leitungssysteme verzichten. Man muss lediglich die Infrarotheizungen anschließen und die PID-Kontroller einstellen – danach ist alles bereit.
Es gibt allerdings einen Haken: Die Homogenität der Wärmeverteilung. Infrarotstrahlung ist gerichtet – daher können es Probleme mit Hotspots geben, wenn man nicht vorsichtig ist. Wir lösen dieses Problem, indem wir Goldbeschichtete Reflektoren oder Mehrwinkel-Arraye verwenden, um die Wärme gleichmäßig zu verteilen.
Außerdem spielt die Reinheit eine wichtige Rolle. Wenn man die Luftzirkulation einstellt, hört auch die Bewegung der Partikel und Turbulenzen auf. Kein Schmutz, kein Risiko – nur saubere, direkte Strahlung.