हमने इस “लैम रिसर्च हीटर” को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि यह उन्नत वेफर प्रसंस्करण प्रक्रियाओं में आने वाली अत्यधिक ऊष्मा की मांगों को पूरा कर सके। इसका उद्देश्य यह है कि तापमान हर बार सही स्तर पर ही रहे – 0.1°C के भीतर ही। जब प्रक्रिया का मापन नैनोमीटर में होता है, तो तापमान में होने वाले उतार-चढ़ाव कोई “सहनशीलता” नहीं है; बल्कि यह अच्छे वेफरों एवं बर्बाद हुए समय के बीच का अंतर है।
ऊर्जा, वोल्टेज, एवं डिज़ाइन:
हमने इन हीटरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ये कम जगह में ही अधिक ऊष्मा प्रदान कर सकें। 400V का इनपुट इसलिए ही दिया गया है, ताकि वायरिंग में होने वाला विरोध कम हो, जिससे टर्मिनलों का तापमान स्थिर रहे। जब मॉड्यूल एक-दूसरे के बहुत करीब होते हैं, तो यह बहुत ही महत्वपूर्ण है।
वॉटेज, मूल चैंबर की आवश्यकताओं के अनुरूप ही है; इसलिए PID लूप को सेटपॉइंट खोजने की आवश्यकता ही नहीं है। ट्यूब की लंबाई एवं व्यास भी चैंबर की ज्यामिति के अनुरूप ही है; इससे गर्म क्षेत्र ठीक वहीं ही रहता है, जहाँ प्रक्रिया के लिए आवश्यक है। इससे प्रक्रिया लगातार एक ही तरह से ही चलती रहती है – पूरे सिस्टम को फिर से सेट करने की आवश्यकता ही नहीं है।
अंदर क्या है?
अंदर हैलोजन तत्व है, जो क्वार्ट्ज आवरण में ही है। हैलोजन रसायन, उच्च तापमान पर भी तत्व को स्थिर रखता है, एवं समय के साथ होने वाले कालेपन को भी कम करता है; इससे रखरखाव के बाद भी आउटपुट स्थिर ही रहता है। क्वार्ट्ज आवरण, तेज़ तापमान पर्वतनों को सहन कर सकता है, एवं टूटने से भी बचता है।
कोटेड सतह, विकिरण को नियंत्रित करने में मदद करती है, एवं गर्म बिंदुओं को रोकती है; इससे लक्षित क्षेत्र में तापमान समान रहता है – जो 0.1°C की सटीकता हासिल करने हेतु आवश्यक है। इंस्टॉलेशन हेतु, हम R7s एवं SK15 जैसे विश्वसनीय कनेक्टरों का उपयोग करते हैं। ये उच्च तापमान वाले सिस्टमों हेतु ही बनाए गए हैं, एवं ठीक से कनेक्ट होते हैं – कोई आर्किंग या ढीले पिन नहीं होते।
इसका वास्तविक लाभ:
यह डिज़ाइन, उन सेमीकंडक्टर चैंबरों हेतु ही बनाया गया है, जहाँ निरंतर कार्य क्षमता एवं दोहरावीता ही महत्वपूर्ण है। इससे स्थिर तापमान नियंत्रण, समान ऊष्मा वितरण, एवं मूल चैंबर के समान ही डिज़ाइन प्राप्त होता है।
हालाँकि, इसका एक नुकसान भी है – उच्च ऊष्मा घनत्व के कारण कूलिंग एवं विद्युत वायरिंग को उच्च मानकों के अनुरूप ही होना होता है। यदि मशीन की कूलिंग प्रणाली पर्याप्त न हो, तो लैंप अपेक्षित से अधिक गर्म हो जाता है। लेकिन जब सिस्टम ठीक से संरेखित होता है, तो 0.1°C की सटीकता हासिल होती है – जो उच्च मात्रा में उत्पादन हेतु उपयुक्त है।