シャードの発生を防ぐ：ウェハ洗浄工程におけるIRランプのより良い利用方法 大量のウェハを生産している方なら、その悪夢のような状況をご存知でしょう。ウェハ洗浄工程でIR加熱を行っていると、突然ランプが壊れてしまいます。これは大惨事です。クォーツ管が破損すると、ガラスの破片や化学物質がウェハに付着して...

ファブフロアでは、リンス工程は管理されたリスクである。残留水分は微小汚染を意味し、乾燥工程が不十分だとフォトレジストの再作業を強いられるか、パターンがウェハに到達する前に歩留まりが損なわれる。高速乾燥リンス後ランプは、その不確実性を排除するために開発された。 内部の重要ポイント この装置は短波長赤...