IR加熱装置を本当に清潔に保つために クラス100のクリーンルームで作業しているなら、おそらくご存知でしょうが、ちょっとしたほこりや化学物質の蒸気があるだけで、生産される製品は台無しになってしまいます。 半導体の加熱に関しては、多くの人が高純度の石英製のIRランプに注目します。確かにそれは重要です...

ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの真実 大量生産の工場では、輸送用トロリー内の赤外線ランプが壊れると、それは単なる厄介事では済みません。まさに悪夢です。 石英管が破損すると、単に壊れるだけでなく、微細なガラス片や電極の破片があちこちに飛び散ります。もしそれがウェーハに当たってしまうと、...

可燃性化学物質を加熱する際の安全対策 正直に言って、半導体製造工場で化学溶液を加熱するのは非常に危険な作業です。揮発性の高い溶剤を扱うということは、まるで火薬庫を扱っているようなものです。ちょっとした火花や露出した加熱要素があれば、大惨事につながります。 そのため、私たちは従来の開放型の加熱方式を...

是非を語る：導入部 私たちがこの金メッキ処理が施された赤外線ランプを開発したのには、一つの理由があります。それは、半導体の高度な加工工程において、熱風による加熱にかかる時間を削減するためです。時間こそがコストであり、私たちはそのコストを極限まで削減したかったのです。 従来の対流式加熱では、自重に負...

はじめに 想像してみてください。300mmウェーハの製造ラインを運用しているとき、プレッシャーは計り知れません。環境も過酷であり、ヒーターは絶対に故障してはなりません。常に一定の温度を維持し、即座に反応しなければならず、決して温度が変動してはいけないのです。 私たちは単にこれらのことについて語るだ...

製造現場においては、ソフトベイクやハードベイクの際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、CDがずれたり、オーバーレイが乱れたりし、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。半導体ヒーターに搭載されている熱電対は単なる付属品ではありません。それは、工程内での温度を一定に保つための重要な要素です。こ...

ライン上では、フォトレジストの安定性は「あればいい」ものではなく、まさに不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の1°Cの温度変動だけで、全体の熱管理が崩れてしまい、エッチングの結果にもすぐに影響が出ます。私たちは、このような温度変動を防止するために、半導体デバイス特性評価用のヒーターを開発...