機器が「オーブン」になるのを防ぎましょう IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。半導体のサイズが小さい場合、これは大変な問題です。反射板がないと、エネルギーの約半分が機器の内壁に当たってしまいます。これは無駄遣いです。さらに悪いことに、機器の筐体が過度に熱くなり、作業員が火傷...

なぜゴールド製の反射板がウェーハの硬化処理にとって重要なのか ウェーハを硬化処理するとき、単に「温度を上げる」というだけではありません。実際には、光子を使った一種のゲームをしているのです。 多くの人々は、コストが安いためにアルミニウム製の反射板を使います。しかし問題は、アルミニウムはエネルギーを過...

化学物質の近くで赤外線加熱を使用する際の安全対策 もし化学薬品を使った洗浄工程を行っているなら、溶剤の蒸気が至る所にあることはご存知でしょう。その蒸気は容易に点火されてしまいます。通常の赤外線ランプをそんな環境に置くのは、単に悪い考えに過ぎず、事故を引き起こす原因となります。 だからこそ、私たちは...