是非を語る：導入部 私たちがこの金メッキ処理が施された赤外線ランプを開発したのには、一つの理由があります。それは、半導体の高度な加工工程において、熱風による加熱にかかる時間を削減するためです。時間こそがコストであり、私たちはそのコストを極限まで削減したかったのです。 従来の対流式加熱では、自重に負...

製造現場では、いつも同じ手順で作業を行います。焼成温度が0.3°C変動するだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変わり、それによってウェーハ全体の線幅にばらつきが生じます。同じ工程を実行しても、依然として歩留まりは低下します。焼成処理というのは単なる加熱だけではなく、再現性も重要です。...