ヒーターを修理するために機械を分解するのはやめましょう。 ほとんどの産業用ヒーターは、設置した後はそのまま放置されてしまいます。そして5年後に故障してしまった時、本当に厄介なのは部品の代金ではなく、機械の停止による損失です。壊れた部分を直すために、何時間も、あるいは何日もかけて機械全体を分解しなけ...

私たちがこのLam Research用のヒーターを開発したのは、高度なウェーハ処理に必要とされる厳しい耐熱性に対応するためです。重要なのは、サイクルを重ねても温度が一定に保たれ、0.1℃以内の誤差で推移することです。プロセスの精度がナノメートル単位で決まる場合、温度の変動は単なる「許容範囲」以上の...