ウェーハ用高精度IRセンサー

なぜウェーハ製造においてIR硬化法を採用するのか？ 正直言って、従来の対流式オーブンは非効率的です。速度が遅く、有害な化学物質を使用する必要があり、基本的には大きな空間を温めるだけです。私たちはそうした方式から脱却しようとしています。代わりに、赤外線を利用した硬化法を採用しているのです。 大きな違...