自動ウエハー乾燥ヒーター

300mmプロセスにおいては、乾燥/焼成の工程で0.1°C未満の温度変動でも決して「小さな変動」とは言えないことがすぐにわかります。このような微細な温度変動によっても、重要な寸法に数ナノメートル単位の誤差が生じ、粒子数にも悪影響を与えます。自動化されたウェーハ乾燥ヒーターは、単なる加熱装置に過ぎま...