ツインチューブ型の金メッキランプ

製造現場では、いつも同じ手順で作業を行います。焼成温度が0.3°C変動するだけで、フォトレジストの形状がナノメートル単位で変わり、それによってウェーハ全体の線幅にばらつきが生じます。同じ工程を実行しても、依然として歩留まりは低下します。焼成処理というのは単なる加熱だけではなく、再現性も重要です。...