ファブラトリーでのランプの効率的な利用：なぜクォーツ製シールドが重要なのか ファブラトリーにおいて、熱というのは単に対処しなければならないものではなく、プロセス全体を動かすためのエンジンのような存在です。しかし、赤外線ランプをそのまま使っていてはいけません。そこで役立つのがクォーツガラス製のシール...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク温度が0.5℃ずれるだけでライン幅に影響し、多数のロットが不良になる。シフトごとに熱挙動を安定させるため、クォーツヒーターのセットアップを構築している。 内部で重要なポイント 応答速度が速く、厳密な制御が可能な短波長赤外線クォーツ素子を使用している。アクティ...