半導体ヒーター用熱電対

製造現場においては、ソフトベイクやハードベイクの際に0.5℃程度の温度変動があるだけで、CDがずれたり、オーバーレイが乱れたりし、多くのウェーハが廃棄処分になってしまいます。半導体ヒーターに搭載されている熱電対は単なる付属品ではありません。それは、工程内での温度を一定に保つための重要な要素です。こ...