高品質ウェーハ加熱ランプ

リソグラフィー装置の床面上では、ソフトベイク時にわずか0.5度のずれがあっても、CDバイアスが変化し、多くの良品ウエハーが損傷してしまいます。そうしたずれを防ぐために、私たちはウエハー加熱用ランプを独自に開発しました。これにより、設定値を正確に維持でき、推測に頼らずに温度をコントロールできます。...