ウェーハを清潔に保つために：トロリーヒーターの真実 大量生産の工場では、輸送用トロリー内の赤外線ランプが壊れると、それは単なる厄介事では済みません。まさに悪夢です。 石英管が破損すると、単に壊れるだけでなく、微細なガラス片や電極の破片があちこちに飛び散ります。もしそれがウェーハに当たってしまうと、...

時間の無駄をやめよう：なぜIR加熱がクリーンルームで優れているのか 半導体の精密加工を行っている人なら、「時間というコスト」の大きさを知っているはずです。長年、強制送風方式に依存してきましたが、正直言って、これは非効率的です。まず空気を温め、次にオーブンの壁を温め、最後に基板を温める必要があります...