半導体デバイスの特性評価用ヒーター

ライン上では、フォトレジストの安定性は「あればいい」ものではなく、まさに不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイク時の1°Cの温度変動だけで、全体の熱管理が崩れてしまい、エッチングの結果にもすぐに影響が出ます。私たちは、このような温度変動を防止するために、半導体デバイス特性評価用のヒーターを開発...