なぜ、スマートファブでは古いオーブンを使うのをやめるべきか スマートファブを構築する際に最も重要なのは、従来の対流式オーブンに頼らないことです。製造プロセスにおいて熱をどのように利用するかを考えるとき、私たちは常に赤外線システムを採用することを推奨します。なぜでしょうか？それは、赤外線システムが、...

MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水を素早く除去する必要はありますが、単純に熱をかけすぎると、ウェーハが歪んだり、全体が汚染されたりする危険があります。 鍵となるのは、熱が正しい場所に届くようにすることです。多...

300mmプロセスにおいては、乾燥/焼成の工程で0.1°C未満の温度変動でも決して「小さな変動」とは言えないことがすぐにわかります。このような微細な温度変動によっても、重要な寸法に数ナノメートル単位の誤差が生じ、粒子数にも悪影響を与えます。自動化されたウェーハ乾燥ヒーターは、単なる加熱装置に過ぎま...

ファブフロアでは、リンス工程は管理されたリスクである。残留水分は微小汚染を意味し、乾燥工程が不十分だとフォトレジストの再作業を強いられるか、パターンがウェハに到達する前に歩留まりが損なわれる。高速乾燥リンス後ランプは、その不確実性を排除するために開発された。 内部の重要ポイント この装置は短波長赤...