MEMSウェーハを問題なく乾燥させる方法
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水を素早く除去する必要はありますが、単純に熱をかけすぎると、ウェーハが歪んだり、全体が汚染されたりする危険があります。
鍵となるのは、熱が正しい場所に届くようにすることです。多くの装置では、金属製のケースを加熱するために大量のエネルギーが無駄に消費されています。私たちは、特殊な赤外線ヒーターと金コーティングされた反射板を組み合わせることで、この問題を解決しています。
なぜ金なのか？
アルミニウムは一般的に使われていますが、それほど良くありません。アルミニウムは赤外線エネルギーを過度に吸収してしまいます。一方、金は異なります。近赤外線領域では、98％以上のエネルギーを反射します。つまり、機械の周囲に散らばる熱の代わりに、金層がその光子を直接ウェーハに戻すのです。これは、電球の代わりに虫眼鏡を使うようなものです。必要な場所に集中的に熱を与えることができ、ランプの出力を上げる必要もありません。
難しい点：熱と出力
このようなヒーターを選ぶ際には、出力と表面積を適切に調整する必要があります。高出力のランプは処理速度を上げるのに役立ちますが、非常に高温になります。冷却システムがその熱を処理できなければ、ウェーハが歪んだり、センサーが壊れたりする可能性があります。そのため、私たちは焦点を正確に調整するために多大な時間を費やしています。熱がウェーハ面に正確に当たるようにしているのです。
安定した動作を保つ
これらは、通常のIRアレイの簡単な交換用部品として設計されています。私たちは、エミッターと反射板の間の隙間に特に注意を払っています。そこが「デッドゾーン」と呼ばれる場所で、熱が溜まって何も起こらない場所です。
一点だけ注意が必要です。金は柔らかいため、アルミニウムのように強く拭くことはできません。強力な研磨剤を使うと、表面が傷ついてしまいます。そうなると、効率が低下し、光熱費も増えてしまいます。推奨される光学クリーナーを使えば、問題ありません。