熱を無駄にしないで：なぜ金メッキされた反射器が重要なのか 半導体ウェーハの加工において、エネルギーを無駄にするのは単純に悪い設計です。それだけです。 高出力の赤外線ランプを使用している場合、その貴重なエネルギーの多くがただ無駄に消えてしまいます。対象物に当たらず、機械の中に消えてしまうのです。これ...

なぜ、スマートファブでは古いオーブンを使うのをやめるべきか スマートファブを構築する際に最も重要なのは、従来の対流式オーブンに頼らないことです。製造プロセスにおいて熱をどのように利用するかを考えるとき、私たちは常に赤外線システムを採用することを推奨します。なぜでしょうか？それは、赤外線システムが、...

壊れたランプが生産効率を低下させるのを防ごう 高負荷のファブでは、壊れた赤外線ランプは単なる厄介者に過ぎません。それはまさに悪夢です。 石英管が壊れると、単に割れるだけでなく、ガラスの破片や化学物質がウェーハに直接飛び散ります。一度壊れると、一回分の製品が廃棄処分になってしまいます。これは本当に辛...

化学薬品が存在する環境での使用時に、装置を安全に保つために 正直に言って、赤外線ランプを化学洗浄の現場に設置するのは、非常に危険なことです。可燃性の溶剤や爆発性の蒸気が漂っている中では、わずかな火花や少し過度に高温になった表面だけで、作業日が大惨事に変わってしまう可能性があります。 そのため、私た...

シャードの発生を防ぐ：ウェーハ製造工場におけるチューブの破裂対策 正直に言って、半導体製造工場において、赤外線ランプが破裂するのは本当に厄介な問題です。停止時間だけが問題なわけではありません。問題は、その後に起こる汚染です。重負荷がかかるとクォーツ製のケースが破壊され、ガラスの破片や微粒子がウェー...

ファブラトリーでのランプの効率的な利用：なぜクォーツ製シールドが重要なのか ファブラトリーにおいて、熱というのは単に対処しなければならないものではなく、プロセス全体を動かすためのエンジンのような存在です。しかし、赤外線ランプをそのまま使っていてはいけません。そこで役立つのがクォーツガラス製のシール...

なぜ、あなたの工場は対流式オーブンの使用をやめるべきか 正直に言えば、従来の熱風乾燥法というのは、もはや時代遅れの技術です。 もし依然として対流式オーブンを使って、厳しい無鉛化や省エネの目標を達成しようとしているのであれば、実質的には、部品を温めるためだけに巨大な空間を温めるための費用を支払ってい...

##はじめに 私たちは、半導体製造ライン用の加熱ランプを製造しています。これらは、市販の電球といったものではなく、直接交換可能な仕様になっています。 これらは精密機器であり、継続的で高速な作業環境に耐えられるように設計されています。常に考えているのは、寿命の面で大手国際ブランドとどう競争できるかと...

製造現場では、焼成工程がどれだけ素早く不安定になり得るかがわかります。わずか半度の偏差があっても、重要な寸法が変わってしまい、フォトレジストに欠陥が生じます。半導体加工装置に組み込まれているバッテリー用セパレーターフィルムの乾燥装置では、熱安定性は単なる望ましい特性ではなく、最も重要な要素です。も...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークはウォームアップではない。それはプロセスの要である。 ソフトベークまたはハードベークが1.5℃ずれると、CD制御に影響が出る。エッジビードが現れ始め、ウエハが廃棄される。 真空オーブンの加熱要素は、真空下で安定した再現可能な熱を供給しなければならない—粒...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーク温度が0.5℃ずれるだけでライン幅に影響し、多数のロットが不良になる。シフトごとに熱挙動を安定させるため、クォーツヒーターのセットアップを構築している。 内部で重要なポイント 応答速度が速く、厳密な制御が可能な短波長赤外線クォーツ素子を使用している。アクティ...